Российская Академия Наук
Отделение энергетики, машиностроения
механики и процессов управления
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт машиноведения 
им. А.А. Благонравова
Российской академии наук
| № п/п | Вид работ  | Вид документа | Наименование проекта национального стандарта Российской Федерации (межгосударственного стандарта) | Планируемый срок   окончания работ | Организация-разработчик | 
| 1.        | Разработка | ГОСТ Р | Электронное машиностроение. Основные положения | 2025 | АО «МНТЦ МИЭТ» | 
| 2.        | Разработка | ГОСТ Р | Электронное машиностроение. Термины и определения | 2025 | АО «МНТЦ МИЭТ» | 
| 3.        | Адаптация SEMI E15–0698 | ГОСТ Р SEMI | Электронное машиностроение. Спецификация инструментов   загрузки. Стандарт, описывающий механические инструменты по загрузке,   выгрузке и перегрузке подложек | 2025 | АО «МНТЦ МИЭТ» | 
| 4.        | Адаптация SEMI E1–0697 | ГОСТ Р SEMI | Электронное машиностроение. Спецификация   для 3 дюймовых, 100 мм, 125 мм и 150 мм пластиковых и металлических подложек | 2025 | АО «МНТЦ МИЭТ» | 
| 5.        | Адаптация SEMI E19 | ГОСТ Р SEMI | Электронное машиностроение. Спецификация стандартного   механического интерфейса (SMIF)   – Стандарт для обеспечения необходимой дефектности в производственном цикле | 2025 | АО «МНТЦ МИЭТ» | 
| 6.        | Разработка | ГОСТ Р | Электронное машиностроение. Основные принципы   классификации стандартов в области электронного машиностроения | 2026 | АО «МНТЦ МИЭТ» | 
| 7.        | Адаптация SEMI M52 | ГОСТ Р SEMI | Электронное машиностроение. Методика измерения плотности   дефектов на полированных подложках | 2026 | АО «МНТЦ МИЭТ» | 
| 8.        | Разработка | ГОСТ Р | Электронное машиностроение. Тара для жидкостей и газов   микроэлектронной промышленности. Арсин | 2026 | Не определено | 
| 9.        | Адаптация SEMI E30 | ГОСТ Р SEMI | Электронное машиностроение. Общая модель для коммуникации   и управления производственным оборудованием полупроводниковых устройств | 2027 | Не определено | 
| 10.   | Адаптация SEMI E5 | ГОСТ Р SEMI | Электронное машиностроение. Протокол коммуникации   производственного оборудования полупроводниковых устройств. Содержание   сообщений | 2027 | Не определено | 
| 11.   | Адаптация SEMI E183 | ГОСТ Р SEMI | Электронное машиностроение. Интерактивная база данных для   тестового оборудования полупроводниковых устройств | 2027 | Не определено | 
| 12.   | Адаптация SEMI A4 | ГОСТ Р SEMI | Электронное машиностроение. Система сообщений для   автоматизированного тестового оборудования полупроводниковых устройств | 2028 | Не определено | 
| 13.   | Адаптация SEMI E95–1101 | ГОСТ Р SEMI | Электронное машиностроение. Спецификация интерфейса для   оборудования по производству полупроводников. Стандарт, описывающий   требования к визуальному оформлению интерфейса управления оборудованием, для   однородности и читабельности визуальных интерфейсов | 2028 | Не определено |