Российская Академия Наук
Отделение энергетики, машиностроения
механики и процессов управления
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт машиноведения
им. А.А. Благонравова
Российской академии наук
№ п/п
|
Вид работ
|
Вид документа
|
Наименование проекта национального стандарта
Российской Федерации (межгосударственного стандарта) |
Планируемый срок окончания работ
|
Организация-разработчик
|
1.
|
Разработка
|
ГОСТ Р
|
Электронное машиностроение. Основные положения
|
2025
|
АО «МНТЦ МИЭТ»
|
2.
|
Разработка
|
ГОСТ Р
|
Электронное машиностроение. Термины и определения
|
2025
|
АО «МНТЦ МИЭТ»
|
3.
|
Адаптация SEMI E15–0698
|
ГОСТ Р SEMI
|
Электронное машиностроение. Спецификация инструментов загрузки. Стандарт, описывающий механические инструменты по загрузке, выгрузке и перегрузке подложек
|
2025
|
АО «МНТЦ МИЭТ»
|
4.
|
Адаптация SEMI E1–0697
|
ГОСТ Р SEMI
|
Электронное машиностроение. Спецификация для 3 дюймовых, 100 мм, 125 мм и 150 мм пластиковых и металлических подложек
|
2025
|
АО «МНТЦ МИЭТ»
|
5.
|
Адаптация SEMI E19
|
ГОСТ Р SEMI
|
Электронное машиностроение. Спецификация стандартного механического интерфейса (SMIF) – Стандарт для обеспечения необходимой дефектности в производственном цикле
|
2025
|
АО «МНТЦ МИЭТ»
|
6.
|
Разработка
|
ГОСТ Р
|
Электронное машиностроение. Основные принципы классификации стандартов в области электронного машиностроения
|
2026
|
АО «МНТЦ МИЭТ»
|
7.
|
Адаптация SEMI M52
|
ГОСТ Р
SEMI
|
Электронное машиностроение. Методика измерения плотности дефектов на полированных подложках
|
2026
|
АО «МНТЦ МИЭТ»
|
8.
|
Разработка
|
ГОСТ Р
|
Электронное машиностроение. Тара для жидкостей и газов микроэлектронной промышленности. Арсин
|
2026
|
Не определено
|
9.
|
Адаптация SEMI E30
|
ГОСТ Р
SEMI |
Электронное машиностроение. Общая модель для коммуникации и управления производственным оборудованием полупроводниковых устройств
|
2027
|
Не определено
|
10.
|
Адаптация
SEMI E5
|
ГОСТ Р SEMI
|
Электронное машиностроение. Протокол коммуникации производственного оборудования полупроводниковых устройств. Содержание сообщений
|
2027
|
Не определено
|
11.
|
Адаптация
SEMI E183
|
ГОСТ Р SEMI
|
Электронное машиностроение. Интерактивная база данных для тестового оборудования полупроводниковых устройств
|
2027
|
Не определено
|
12.
|
Адаптация
SEMI A4
|
ГОСТ Р SEMI
|
Электронное машиностроение. Система сообщений для автоматизированного тестового оборудования полупроводниковых устройств
|
2028
|
Не определено
|
13.
|
Адаптация SEMI E95–1101
|
ГОСТ Р SEMI
|
Электронное машиностроение. Спецификация интерфейса для оборудования по производству полупроводников. Стандарт, описывающий требования к визуальному оформлению интерфейса управления оборудованием, для однородности и читабельности визуальных интерфейсов
|
2028
|
Не определено
|